特許

J-GLOBAL ID：200903006828482770

表面異物検査方法および表面異物検査装置

発明者： 小松 宏一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-070774
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264262
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】検査基準が一定の状態でウエハや液晶基板上の比較的大きな異物、傷等の全数検査を簡便に行うことができる表面異物検査方法及び検査装置を提供すること。【解決手段】 被検物1のほぼ全面を照明する照明光学系3,4と、前記被検物の表面に付着した異物からの散乱光を一括して受光し、前記受光光学系のほぼ瞳面で前記散乱光の全光量を検出する受光光学系5,7と、前記被検物からの特定の方向の光を取り出す空間フィルタ部6とを有する。

請求項（抜粋）：

被検物のほぼ全面に照明光を照射する工程と、前記被検物の表面に付着した異物からの散乱光を受光光学系により一括して受光し、前記受光光学系のほぼ瞳面で前記散乱光の全光量を検出する工程と、前記被検物からの特定の方向の光を取り出す工程と、を有することを特徴とする表面異物検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  H01L 21/66 J

Fターム (49件)：

2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065CC17 ,  2F065DD12 ,  2F065FF01 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065GG12 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065MM04 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065TT03 ,  2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051BB17 ,  2G051CA02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051CB06 ,  2G051CC07 ,  2G051DA08 ,  2G051DA13 ,  2G051EB01 ,  4M106AA01 ,  4M106CA41 ,  4M106CA43 ,  4M106DB13 ,  4M106DB14 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ27