特許
J-GLOBAL ID:200903006830802375
冷却システム、該システム用蒸発器及び収着剤容器、及び該システムの操作方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-166759
公開番号(公開出願番号):特開平6-159854
出願日: 1993年07月06日
公開日(公表日): 1994年06月07日
要約:
【要約】【目的】 冷却システム【構成】 該システムは、少なくとも2個の接続部を含む空密作業物質蒸気集合管を有し、前記接続部に、任意の作業物質用蒸発器及び作業物質を収着することのできる収着剤充填部を有する収着剤容器が空密に接続可能であり;収着剤容器に真空ポンプが接続可能であり;真空ポンプと収着剤充填部との間に、真空ポンプの停止時にはガスの冷却装置への流入を阻止しかつ作動時には真空ポンプが空気及び他の凝縮性ガスをそれによって排出する逆止め装置が取付けられている構造を有する。【効果】 該システムは経済的に操作可能で、自在に使用できる。
請求項(抜粋):
少なくとも2個の接続部(2〜11)を含む空密作業物質蒸気集合管(1)を有し、前記接続部に、任意の作業物質用蒸発器(13,19,22,28,32,34)及び作業物質を収着することのできる収着剤充填部(43)を有する収着剤容器(42)が空密に接続可能であり;収着剤容器(42)に真空ポンプ(47,48)が接続可能であり;真空ポンプ(47,48)と収着剤充填部(43)との間に、真空ポンプ(47,48)の停止時にはガスの冷却装置への流入を阻止しかつ作動時には真空ポンプ(47,48)が空気及び他の凝縮性ガスをそれによって排出する逆止め装置(49,50)が取付けられている構造の冷却システム。
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