特許
J-GLOBAL ID：200903006833319837
プラズマエッチング用電極
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-327985
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162940
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 プラズマにより電極の中央部が高温となっても、電極が変形しずらく、また、価格的にも、より安価で、さらに容易に製造することができるプラズマエッチング用電極を提供する。【解決手段】 円板状のプラズマエッチング用電極において、単結晶シリコンからなる電極中央部と、その他の材質からなる電極外周部を有してなるプラズマエッチング用電極。
請求項（抜粋）：
円板状のプラズマエッチング用電極において、単結晶シリコンからなる電極中央部と、その他の材質からなる電極外周部を有してなるプラズマエッチング用電極。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/302 C
, C23F 4/00 A
