特許

J-GLOBAL ID：200903006836257964

欠陥検出装置

発明者： 鈴木 良政
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (2件)： 篠原 泰司 ,  藤中 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-367896
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134158
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

【課題】被検物の種類や欠陥形状が変化しても高感度で欠陥検出ができ、かつ、像歪みが極めて少ない画像を得ることができる欠陥検出装置を提供する。 【解決手段】光源1と、光源1から出射した光をケーラー照明法により被検面3位置に照射する照明光学系2と、照明光学系2光軸に対してシフトして配置され、被検面3位置で生じた照明光の散乱光を結像する撮像光学系4及び結像された散乱光の像を撮像する撮像素子5と、撮像光学系4及び撮像素子5を移動させる駆動機構6を有し、撮像光学系4が、物体側から順に、正・正の屈折力を持つ群と、その中間に配置された開口絞りSとで構成され、最も物体側に物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズを有し、駆動機構6は、撮像光学系4と撮像素子とを、それぞれ別個に照明光学系の光軸に対して垂直に移動させるようになっている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源と、 該光源から出射した光をケーラー照明法により被検面位置に照射する照明光学系と、 該照明光学系の光軸に対してシフトして配置され、被検面位置で生じた照明光の散乱光を結像する撮像光学系及び結像された散乱光の像を撮像する撮像素子と、 該撮像光学系及び撮像素子を移動させる駆動機構を有し、 前記撮像光学系が、物体側から順に、正・正の屈折力を持つ群と、その中間に配置された開口絞りとで構成され、最も物体側に物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズを有し、 前記駆動機構は、前記撮像光学系と前記撮像素子とを、それぞれ別個に照明光学系の光軸に対して垂直に移動させることを特徴とする欠陥検出装置。

IPC (3件)：

G01N21/958 ,  G02B13/04 ,  G02B13/24

FI (3件)：

G01N21/958 ,  G02B13/04 D ,  G02B13/24

Fターム (24件)：

2G051AA41 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2H087KA00 ,  2H087PA07 ,  2H087PA08 ,  2H087PA17 ,  2H087PA18 ,  2H087PB08 ,  2H087PB09 ,  2H087QA02 ,  2H087QA07 ,  2H087QA17 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA41 ,  2H087QA46 ,  2H087RA32

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 傷又は異物位置検出方法、傷又は異物位置検出装置、及び画像読取装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-345850   出願人：富士写真フイルム株式会社