特許
J-GLOBAL ID：200903006838116519
電子部品の圧着ヘッドの荷重検出装置および荷重検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-055629
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333374
出願日： 1997年11月10日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：
【要約】【課題】 圧着荷重の制御の精度を向上させることができる電子部品の圧着ヘッドの荷重検出装置および荷重検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 電子部品を圧着ヘッド17により基板3に押圧してボンディングする電子部品の圧着装置において、圧着ヘッド17を上下動自在に支持する昇降部7と圧着ヘッド17の間に介在して圧着ヘッド17に作用する荷重を検出する荷重検出手段として、ロードセル15と線形な荷重・変位特性を有するスプリング16を直列に組合せて用いるようにした。これにより、荷重検出手段の変位量を大きくして単位昇降動作あたりの押圧荷重の変化量を小さくし、すなわち押圧荷重の分解能を改善することができ、したがって押圧荷重制御の精度を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
電子部品を基板に押圧する圧着ヘッドに作用する荷重を検出する荷重検出手段があり、この荷重検出手段が、荷重センサと、線形な荷重・変位特性を有し荷重負荷時における前記荷重センサの変位量を増幅するスプリングを有することを特徴とする電子部品の圧着ヘッドの荷重検出装置。
IPC (3件)：
G01L 1/26
, H01L 21/52
, H01L 21/60 311
G01L 1/26 Z
, H01L 21/52 F
, H01L 21/60 311 T
5F044PP15
, 5F047FA08
, 5F047FA82
