特許
J-GLOBAL ID：200903006845475915
磁気抵抗式センサ素子により外部磁界の方向を検出するためのセンサ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-268646
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194161
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：
【要約】【課題】 非常に大きい磁気抵抗効果(GMR)を呈する多層システムを有する少なくとも1つのセンサ素子により外部磁界の方向を検出するためのセンサ装置であって、少なくとも1つの軟磁性の測定層と、予め定められた磁化方向を有する少なくとも1つの比較的硬いバイアス層と、それらの間に配置されている少なくとも1つの非磁性の中間層とを含んでいるセンサ装置を、360°の角度検出を可能とするように、また感度があまりに低いという問題を減らすように構成する。【解決手段】 少なくとも1つのセンサ素子E、E′が少なくとも2つの素子部分Ej 、E1 ないしE4 、E1 ′ないしE4 ′を含み、それらの多層システムSが共通の基板2の上に構成され、それらの磁化方向m1 ないしm4 が0°に等しくない、または180°に等しくない角度αを挟み、それらの測定信号ΔR1、ΔR2が共通に評価される。
請求項（抜粋）：
非常に大きい磁気抵抗効果(GMR)を呈する多層システムを有する少なくとも1つのセンサ素子により外部磁界の方向を検出するためのセンサ装置であって、少なくとも1つの軟磁性の測定層と、予め定められた磁化方向を有する少なくとも1つの比較的硬いバイアス層と、それらの間に配置されている少なくとも1つの非磁性の中間層とを含んでいるセンサ装置において、少なくとも1つのセンサ素子(E、E′)が少なくとも2つの素子部分(Ej 、E1ないしE4 、E1 ′ないしE4 ′)を含み、それらの多層システム(S)が共通の基板(2)の上に構成され、それらの磁化方向(m1 ないしm4 )が0°に等しくない、または180°に等しくない角度(α)を挟み、それらの測定信号(ΔR1、ΔR2)が共通に評価されることを特徴とする磁気抵抗式センサ素子により外部磁界の方向を検出するためのセンサ装置。
IPC (4件)：
G01R 33/09
, G01R 33/02
, H01F 10/08
, H01L 43/08
G01R 33/06 R
, G01R 33/02 L
, H01F 10/08 A
, H01L 43/08 Z
