特許

J-GLOBAL ID：200903006846102187

レーザ発振装置

発明者： 江口 聡
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167148
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357831
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 ウォータハンマ現象による光共振器における振動を低減させ、レーザ光の出力、強度分布を安定化し高品質の加工性能を得る。【解決手段】 レーザ光を発生する光共振器と、二つ以上の経路を並列に接続することで冷却媒質を循環させる冷却媒質配管と、冷却媒質配管の各経路に設けた二以上のバルブと、光共振器およびその周囲の雰囲気の温度を検出する温度検出器とを備え、温度検出器からの信号をもとにしてバルブを開閉し冷却媒質の流量を制御することにより温度を制御するとともに、二つ以上の各バルブを閉じるときのタイミングに、バルブ弁閉動作時間の2〜5倍の時間差ΔTを持たせた。これにより、各バルブが同時に閉じた時に光共振器の冷却媒質配管に生じるウォータハンマ現象による振動を低減させることができるので、レーザ光の出力、強度分布を安定化し高品質の加工性能を得ることができる。

請求項（抜粋）：

レーザ媒質を励起しレーザ光を発生する光共振器と、この光共振器およびその周囲の雰囲気を冷却する冷却媒質と、全ての冷却媒質が配管の最上流部で前記光共振器を冷却するように配管され、かつ少なくとも二つ以上の経路を並列に接続することで前記冷却媒質を循環させる冷却媒質配管と、この冷却媒質配管の各経路にそれぞれ設けた少なくとも二つ以上のバルブと、前記光共振器およびその周囲の雰囲気の温度をそれぞれ検出する少なくとも二つ以上の温度検出器とを備え、前記温度検出器からの信号をもとにして前記バルブを開閉し前記冷却媒質の流量を制御することにより前記光共振器およびその周囲の雰囲気の温度を制御するとともに、少なくとも二つ以上の前記各バルブを閉じるときのタイミングに、バルブ弁閉動作時間の2〜5倍の時間差を持たせたことを特徴とするレーザ発振装置。

Fターム (4件)：

5F072JJ05 ,  5F072TT22 ,  5F072TT29 ,  5F072YY06