特許
J-GLOBAL ID：200903006846663820
電圧・変位検出プローブおよびその調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201055
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062284
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 本発明は光ビームを用いた半導体集積回路の電圧測定装置に用いて好適な電圧・変位検出プローブおよびその調整方法に関し、高速での測定を妨げることなく変位測定精度を向上させる。【構成】 ホルダ2に外端部3a,3bを固着され、ホルダ2内部に配設された板状の板ばね3,4と、板ばね3,4の略中心位置に軸方向を板ばね3,4と略垂直に板ばね3,4により支持される中空又は中実透明のロッド7と、試料を走査する導電性の探針12と、ロッド7の一端に一端を固着されると共に探針12に他端を導通接続されており、走査された試料の電圧に応じた情報を発生する電圧情報発生素子11と、ロッド7の他端に配設されており、板ばね3,4の弾性変形に応じてロッド7の軸方向に移動する移動電極14と、移動電極14と対向して配設された固定電極19とを具備する。
請求項（抜粋）：
ホルダ(2)に外端部(3a,3b)を固着され、該ホルダ(2)内部に配設された板状の弾性部材(3,4)と、該弾性部材(3,4)の略中心位置に軸方向を該弾性部材(3,4)と略垂直に該弾性部材(3,4)により支持される中空又は中実透明の円筒状部材(7)と、試料を走査する導電性の探針(12)と、該円筒状部材(7)の一端に一端を固着されると共に該探針(12)に他端を導通接続されており、走査された該試料の電圧に応じた情報を発生する電圧情報発生素子(11)と、該円筒状部材(7)の他端に配設されており、該弾性部材(3,4)の弾性変形に応じて該円筒状部材(7)の軸方向に移動する移動電極(14)と、該移動電極(14)と対向して配設された固定電極(19)とを具備し、該電圧情報発生素子(11)にレーザビームを照射することで該電圧情報発生素子(11)からの情報に基づいて該試料の電圧を測定すると共に、該移動電極(14)の移動に伴う該固定電極(19)と該移動電極(14)との距離の変化に応じて該探針(12)の変位を測定する構成とされてなる電圧・変位検出プローブ。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 1/067
, H01L 21/66
