特許
J-GLOBAL ID：200903006847190292
遮光膜及びその形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288723
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126557
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 電極や、塵等の不純物により変色することのない形状の良好な遮光膜及びその形成方法を提供することを課題とする。【解決手段】 所望の形状のパターンのポリイミド樹脂の前駆体からなる層を400〜600°Cで焼成して遮光膜を形成することを特徴とする遮光膜の形成方法により上記課題を解決する。
請求項（抜粋）：
所望の形状のパターンのポリイミド樹脂の前駆体からなる層を400〜600°Cで焼成して遮光膜を形成することを特徴とする遮光膜の形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
