特許

J-GLOBAL ID：200903006858409334

微小プローブ及びこれを用いた原子間力顕微鏡

発明者： 川崎 岳彦 ,  池田 勉 ,  笠貫 有二 ,  宮本 雅彦 ,  河田 春紀
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-083950
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005182
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 物質の表面を高分解能観察するための微小プローブ提供する。【構成】 微小変位を光てこ方式により計測するための微小プローブであって、カンチレバー上に金錯体溶液中の金錯体を分解処理することにより形成された平板状金単結晶からなる光反射面を有するカンチレバー型微小プローブ。【効果】 非常に平滑性の高い反射面を設けたことにより光の乱反射が低減され、反射光による変位測定を高精度で行うことができる。

請求項（抜粋）：

カンチレバー上に反射面を有し、該反射面に照射された光の反射光を検出することで前記カンチレバーの変位が計測される微小プローブであって、前記反射面が平板状金単結晶で形成されていることを特徴とするカンチレバー型微小プローブ。

IPC (7件)：

G01N 37/00 ,  C23C 18/00 ,  C23C 18/42 ,  C30B 7/14 ,  C30B 19/00 ,  C30B 29/02 ,  G01B 21/30