特許

J-GLOBAL ID：200903006873984264

液晶表示パネル

発明者： 木村 悦子 ,  鈴木 隆 ,  小野 記久雄 ,  三村 秋男 ,  小西 信武
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鈴木 市郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-365244
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215523
出願日： 1988年09月13日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】 多結晶ITO膜をフツ酸系エツチヤントに対する保護膜として使用した液晶表示パネルを得る。【解決手段】 液晶表示パネルの基板101上に、金属で形成したゲート電極104と、該ゲート電極の上に形成した絶縁膜107と、該絶縁膜の上に形成したキュービック・ビックスバイト型の結晶構造を有する多結晶酸化インジウムスズ膜117と、該多結晶酸化インジウムスズ膜上に形成したソース・ドレイン電極110とを有して構成されている。

請求項（抜粋）：

液晶表示パネルにおいて、該液晶表示パネルの基板上に、金属で形成したゲート電極と、該ゲート電極の上に形成した絶縁膜と、該絶縁膜の上に形成したキュービック・ビックスバイト型の結晶構造を有する多結晶酸化インジウムスズ膜と、該多結晶酸化インジウムスズ膜上に形成したソース・ドレイン電極とを有することを特徴とする液晶表示パネル。

IPC (4件)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 29/786

FI (5件)：

G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 338 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 A ,  H01L 29/78 616 V

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭60-097382