特許
J-GLOBAL ID：200903006881849848
コンタクトヘッド及びその製造方法と接続方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-025842
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209335
出願日： 1994年01月12日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 ファインピッチの検査治具として、電極間の位置精度が優れたコンタクトヘッド及びその製造方法と、被検査物の形状に合わせる接続方法と安定した接続方法とを提供することを目的としている。【構成】 固体の薄板状の絶縁材の表面に導体6を有するピッチ変換基板2にドライフィルム7を張り合わせた後、縦穴用パターンフィルム9を重ね露光10を行い、現像し、この縦穴内11に電気メッキ法で電極端子1を作成して硬化しているドライフィルム7′を剥離して突出してなる電極端子1を有する該コンタクトヘッド5を、取付ベース21、22に取付、被検査物19に風船加圧18にて気体圧の加重にて接続させてなるものである。
請求項（抜粋）：
回路基板上の導体側の表面に硬化させたドライフィルムを有する固体の絶縁板の多数の縦穴内に電気メッキで端子がもうけられ、この端子はドライフィルムを溶液で溶解分散させ、導体表面より突出した端子を持ってなるコンタクトヘッド。
IPC (4件)：
G01R 1/073
, G01R 31/02
, G01R 31/26
, G01R 31/28
