特許

J-GLOBAL ID：200903006885764880

タッチプローブ

発明者： 稲崎 一郎 ,  篠田 智寿 ,  土田 亨 ,  中村 哲夫
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社 ,  株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-296616
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151505
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】 被測定物の材質が導電体でなくても、接触球の接触点そのものを簡易に検知できるタッチプローブを提供する。【構成】 プローブ本体11の接触球13に抵抗薄膜17を積層した高分子圧電シート15を被覆し、この高分子圧電シートの抵抗薄膜17に複数個の電極181 〜188 を設け、接触球が被測定物に接触したときに発生する圧電電荷を各電極からそれぞれ取り出しその圧電電荷に見合った電気信号として出力し、これらの電気信号を基に接触球の接触位置を推定する。また、プローブ軸12に振動子14を設置するとともに、入力信号を振動子の振動周波数で検波する検波回路を設ける。

請求項（抜粋）：

被測定物に接触される接触部を有するプローブ本体と、このプローブ本体の接触部に被覆され片側面に抵抗薄膜を積層した高分子圧電シートと、この高分子圧電シートに設けられた複数個の電極と、前記接触部が被測定物に接触したときに発生する圧電電荷を前記各電極からそれぞれ取り出しその圧電電荷に見合った電気信号として出力する信号取出手段と、この信号取出手段からの出力信号を基に前記接触部の接触位置を推定する接触位置推定手段とを備えたことを特徴とするタッチプローブ。

IPC (2件)：

G01B 7/00 ,  G01B 21/00