特許
J-GLOBAL ID：200903006893980222

同調可能な固有周波数をもつMEMS走査ミラー

発明者：
イー チュン フー

イー チュン フー について

, 
ティン タン クオ

ティン タン クオ について


出願人/特許権者：
アドヴァンスド ナノ システムズ

アドヴァンスド ナノ システムズ について


代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  今城 俊夫 ,  西島 孝喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-394482
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177957
出願日： 2003年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】 MEMS走査ミラーの主要固有周波数を調整する装置及び方法を提供する。【解決手段】 本発明の一実施形態においては、MEMS構造体は、第1電極と、第2電極と、移動可能要素とを含む。第1電極は第1電圧源に結合される。第2電極は第2電圧源に結合される。移動可能要素は、第3電圧源に結合された第3電極を含む。構造体の固有周波数をアプリケーションの走査周波数に同調させるために、第1電極と第3電極との間の定常電圧差が用いられる。移動可能要素を振動させるために、アプリケーションの走査周波数における第2電極と第3電極との間の振動電圧差が用いられる。一実施形態においては、移動可能要素はミラーである。【選択図】 図1A
請求項（抜粋）：
第1電圧源に結合された第1電極と、 第2電圧源に結合された第2電極と、 第3電圧源に結合された第3電極を含む移動可能要素と、 を備え、前記第1電極と前記第3電極との間の定常電圧差が、MEMS構造体の固有周波数をアプリケーションの走査周波数に少なくともほぼ等しくなるように変化させ、前記アプリケーションの前記走査周波数における前記第2電極と前記第3電極との間の振動電圧差が、前記移動可能要素を振動させることを特徴とするMEMS構造体。
IPC (3件)：
G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10
FI (3件)：
G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  G02B26/10 104Z
Fターム (10件)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB10 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73
引用特許：
審査官引用 (3件)

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