特許

J-GLOBAL ID：200903006895326490

炉芯管

発明者： 奥村 慎二 ,  長浜 敏夫
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-344168
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160055
出願日： 1991年12月03日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】 炉芯管外からの汚染を防ぐ。【構成】 一端が開放状態で、他端が閉成状態である3本以上の石英管で構成した炉芯管。3本以上の石英管を重ねて三重管以上の多重管構造にする。

請求項（抜粋）：

一端が開放状態で、他端が閉成状態である複数の石英管によって多重管構造に構成した半導体ウェーハ処理用の炉芯管において、3本以上の石英管を重ねて三重管以上の多重管構造にしたことを特徴とする炉芯管。

IPC (2件)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/31