特許
J-GLOBAL ID：200903006896667924
弾性表面波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-084493
公開番号（公開出願番号）：特開平10-200371
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 所望の共振周波数の高周波対応弾性表面波装置を提供する。【解決手段】 単結晶又は多結晶基板と、この基板上に形成されたPZT薄膜よりなる圧電体薄膜と、圧電体薄膜上に形成された電極とを備えてなる弾性表面波装置。【効果】 他の圧電材料に比べ、電気機械結合係数k2 が大きく、かつQ値の大きい、温度特性の良好なPZTを薄膜化し、更に、高音速基板、高安定基板上に成膜することにより、マイクロ波帯域に対応し、広帯域な高安定の弾性表面波装置を実現できる。
請求項（抜粋）：
単結晶基板又は多結晶基板と、該基板上に形成された圧電体薄膜と、該圧電体薄膜上に形成された電極とを備えてなる弾性表面波装置において、該圧電体薄膜がチタン酸ジルコン酸鉛薄膜よりなることを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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