特許

J-GLOBAL ID：200903006898665848

加熱炉用の炉内温度測定器

発明者： 野上 克明
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041306
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210923
出願日： 1995年02月06日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】 減圧加熱炉内が減圧状態であっても、炉内の温度分布を測定することができる減圧加熱炉の炉内温度測定器を提供する。【構成】 減圧加熱炉の炉体11の外側に加熱ヒータ12と炉外温度測定器15を、炉体11の内部に炉内温度測定器30を設け、予め加熱ヒータ12による加熱時の炉体11内外の温度差等を校正データとして測定しておき、実際の製造運転に際しては炉外温度測定器15の測定温度を校正データにより校正し、この校正データのみに基づき炉内温度の制御が行われる減圧加熱炉であって、炉内温度測定器30を、炉体11内に差し込まれ、炉体11内の先端が閉止、炉体11外の基端が開口した保護管31と、この保護管31の基端開口から移動自在に挿入された支持管33と、この支持管33に挿通支持した熱電対素線32a,32bとから構成した。

請求項（抜粋）：

先端が閉止、基端が開口し、炉体内に閉止端が挿入ポートから気密的に差し込まれた保護管と、該保護管内にその基端開口から挿入長さを調節可能に挿入された支持管と、該支持管に配索され該支持管の先端で接合された一対の熱電対素線とを備えることを特徴とする加熱炉用の炉内温度測定器。

IPC (12件)：

G01K 7/02 ,  C23C 16/46 ,  C30B 25/16 ,  F27B 11/00 ,  F27D 21/00 ,  G01K 1/14 ,  G01K 7/00 321 ,  G01K 15/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/324 ,  H05B 3/00 310