特許

J-GLOBAL ID：200903006899018072

電子ビーム装置

発明者： 安部 貴之 ,  中沢 和広 ,  伊藤 昭夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-196671
公開番号（公開出願番号）：特開平6-044937
出願日： 1992年07月23日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 オペレータに対して光学系調整の必要性を意識させること無く、常に光学系の状態を最適に維持できるようにした電子ビーム装置を提供する。【構成】 電子銃から放出された電子ビームで試料を走査して試料表面から放出される二次電子を検出しこれにより試料の表面形状に対応した画像を取得する画像取得モードとこの画像取得の前提となる電子ビーム光学系の調整を行う光学系調整モードとを有する走査型電子ビーム装置において、前記画像取得モード101と光学系調整モード102とを自動的に交互実施させる交互実施制御手段を設けて構成する。

請求項（抜粋）：

電子銃から放出された電子ビームで試料を走査して試料表面から放出される二次電子を検出しこれにより試料の表面形状に対応した画像を取得する画像取得モードとこの画像取得の前提となる電子ビーム光学系の調整を行う光学系調整モードとを有する走査型電子ビーム装置において、前記画像取得モード(101)と光学系調整モード(102)とを自動的に交互実施させる交互実施制御手段を設けたことを特徴とする電子ビーム装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 ,  G01R 31/302 ,  H01J 37/28