特許
J-GLOBAL ID：200903006908268850
多次元方向に関する力・加速度・磁気の検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-306587
公開番号（公開出願番号）：特開平5-118942
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 限られた領域に効率良く検出素子を配置し、検出感度の高い三次元加速度検出装置を提供する。【構成】 可撓基板20の上面に4枚の変位電極71〜74が配置される。その上方には固定基板が配置され、この固定基板に、変位電極71〜74に対向した固定電極がそれぞれ配置される。変位電極71〜74とその各対向電極は、それぞれ容量素子C1〜C4を形成する。可撓基板20の下面には、円柱状の作用体30が固着されており、ここに作用した加速度に基づいて可撓基板20は撓みを生じ、各容量素子C1〜C4の容量値が変化する。容量素子C1〜C4の容量値は電圧値V1〜V4に変換される。加速度のX軸方向成分はVx=(V1+V4)-(V2+V3)で得られ、Y軸方向成分はVy=(V1+V2)-(V3+V4)で得られ、Z軸方向成分はVz=V1+V2+V3+V4で得られる。
請求項（抜粋）：
XYZ三次元座標系における力の多次元方向成分を検出する装置であって、ほぼXY平面に沿って延びる固定面を有する固定基板と、この固定面に対向し、ほぼXY平面に沿って延びる変位面を有する変位基板と、XY平面の第1象限に対応する前記固定面および前記変位面に、互いに対向するように設けられた一対の電極、により形成される第1の容量素子と、XY平面の第2象限に対応する前記固定面および前記変位面に、互いに対向するように設けられた一対の電極、により形成される第2の容量素子と、XY平面の第3象限に対応する前記固定面および前記変位面に、互いに対向するように設けられた一対の電極、により形成される第3の容量素子と、XY平面の第4象限に対応する前記固定面および前記変位面に、互いに対向するように設けられた一対の電極、により形成される第4の容量素子と、前記変位基板を変位させうる所定の作用点に、X軸方向の力が加わったときに、前記第1の容量素子の容量値と前記第4の容量素子の容量値との和と、前記第2の容量素子の容量値と前記第3の容量素子の容量値との和と、の差に基いて、加わったX軸方向の力を検出する第1の検出手段と、前記作用点に、Y軸方向の力が加わったときに、前記第1の容量素子の容量値と前記第2の容量素子の容量値との和と、前記第3の容量素子の容量値と前記第4の容量素子の容量値との和と、の差に基いて、加わったY軸方向の力を検出する第2の検出手段と、を備えることを特徴とする多次元方向に関する力検出装置。
引用特許：
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