特許

J-GLOBAL ID：200903006917883827

マイクロメカニカルデバイス

発明者： ラルフ カタネスク ,  ウルリツヒ ネーエル ,  トーマス シヤイター ,  クリストフアー ヒエロルト
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 富村 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-220394
公開番号（公開出願番号）：特開平9-049775
出願日： 1996年08月02日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】 付加的な製造ステップを必要とすることなく、機能用に設けられたダイヤフラムが機械的応力を全く又は殆ど有しないマイクロメカニカルデバイスを提供する。【解決手段】 互いに密接して隣接する長方形状の又は細長い複数個の開口部が設けられこれらの開口部の長手方向が縁部に対して一定の距離を持ってこの縁部に沿って走るライン又はダイヤフラムの内部に直線状に走るラインに沿って特に平行な2つの列に整列させられた応力のないダイヤフラムを備える。開口部の配置は、ダイヤフラムがこれらのラインに沿ってこれらのラインに垂直な方向に見て随所で中断されているように密接して選定される。圧力センサの場合これらの開口部は閉鎖膜によって外部に対して閉鎖される。

請求項（抜粋）：

センサ又はアクチュエータ用に設けられたダイヤフラム膜を備え、このダイヤフラム膜に少なくとも1本の閉じられた又は縁部から縁部へ走るラインに沿って複数の開口部を設け、これらの開口部は長方形状に又は細長く形成され、これらの開口部の長さはその幅より少なくとも2倍大きく、これらの開口部はその長手方向がこれらのラインのそれぞれ1つに沿って整列させられていることを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 ,  H01L 49/00

FI (2件)：

G01L 9/04 101 ,  H01L 49/00 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-284233
  
• 特開昭59-099356
  
• 特開昭62-284233
  
• 特開昭59-099356