特許
J-GLOBAL ID：200903006931796295
光学式タツチプローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-292477
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099661
出願日： 1991年10月11日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 複数の方向の測定面の検出や、対物レンズの作動距離の変更を可能にする。【構成】 光ビームを複数の方向に分岐するためのビームスプリッタ60を設けると共に、対物レンズ20Z、20Yを該複数の方向に設けて、該複数の方向の測定面12Z、12Yを検出可能とする。又、対物レンズ20Z、20Yを交換可能とし、該対物レンズの焦点距離を変えられるようにする。
請求項（抜粋）：
光ビームを照射するプローブの対物レンズの焦点位置に測定面が来た時にタッチ信号を発生する、合焦点方式の光学式タッチプローブにおいて、前記光ビームを複数の方向に分岐するための光ビーム分岐手段が設けられると共に、前記対物レンズが前記複数の方向に設けられ、該複数の方向の測定面が検出可能であることを特徴とする光学式タッチプローブ。
IPC (2件)：
引用特許：
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