化学物質検出方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北野好人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-356541
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156440
出願日： 2001年11月21日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】基板に付着した化学物質以外の要因によって透過赤外線の光量が変動した場合であっても化学物質の付着量を正確に算出することができる化学物質検出方法及び装置を提供する。【解決手段】赤外透過基板10と、赤外透過基板10に赤外線を入射する赤外光源20と、赤外透過基板10内部を多重反射した後に赤外透過基板10より放出される赤外線のうち、赤外透過基板10上に付着した化学物質による実質的な赤外吸収のない第1の波長域の赤外線を検出する赤外検出器32aと、第1の波長域の近傍の波長域であって化学物質により赤外吸収が生じる第2の波長域の赤外線を検出する赤外検出器32bと、赤外検出器32a、32bにより検出された赤外線に基づいて赤外透過基板10上に付着した化学物質の付着量を算出する演算装置36a、36bとを有する。

請求項（抜粋）：

赤外透過基板に赤外線を入射し、前記赤外透過基板の内部を多重反射した後に前記赤外透過基板より放出される赤外線を検出し、検出した赤外線の強度に基づいて前記赤外透過基板上に付着している化学物質の付着量を算出する化学物質検出方法において、前記赤外透過基板の基準状態において、前記化学物質による実質的な赤外吸収のない第1の波長域の赤外線を第1の赤外検出器により検出し、前記化学物質により赤外吸収が生じる第2の波長域の赤外線を第2の赤外検出器により検出し、前記赤外透過基板上の前記化学物質の量が変化した状態で、前記第1の波長域の赤外線を前記第1の赤外検出器により検出し、前記第2の波長域の赤外線を前記第2の赤外検出器により検出し、前記第1の赤外検出器により検出した赤外線の強度の変化を考慮して、前記第2の赤外検出器により検出した赤外線の強度を補正することにより、前記赤外透過基板上に付着した前記化学物質の付着量を算出することを特徴とする化学物質検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/35 , G01N 21/27

FI (2件)：

G01N 21/35 Z , G01N 21/27 C

Fターム (15件)：

2G059AA01 , 2G059AA10 , 2G059BB08 , 2G059BB16 , 2G059EE02 , 2G059EE11 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059GG10 , 2G059HH01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ24 , 2G059KK03 , 2G059MM10 , 2G059MM14

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