特許

J-GLOBAL ID：200903006944381116

感光性組成物

発明者： 浅川 鋼児 ,  後河内 透 ,  信田 直美 ,  中瀬 真
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-143091
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325498
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 極短波長の紫外線、特にArFエキシマレーザーに対して高い光透明性を示し、アルカリ溶解性に優れるとともに十分なドライエッチング耐性を備えた、レジスト材料として好適な感光性組成物を提供する。【解決手段】 シクロヘキサンおよびイソボルニルから選択された少なくとも1種の脂肪族環状化合物を主鎖に有し、この脂肪族環状化合物の側鎖に酸性置換基が導入されている重合体を含有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

シクロヘキサンおよびイソボルニルから選択された少なくとも1種の脂肪族環状化合物を主鎖に有し、この脂肪族環状化合物の側鎖に酸性置換基が導入されている重合体を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-059751
  
• パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-001807   出願人：株式会社東芝