特許

J-GLOBAL ID：200903006946227696

光回折パターン検査装置

発明者： 山本 秀典 ,  佐藤 博 ,  坂田 英人
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016589
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221496
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】 所定の入射角度で入射された光を反射し干渉させて画像を表示する光回折パターンを有する、例えば、ホログラムや回折格子のような検査対象物に対して、その大きさにかかわらず、欠陥の有無を漏れなく検査することができる光回折パターン検査装置を提供する。【解決手段】 所定の入射角度で入射された光を反射し干渉させて画像を表示する光回折パターンを有する検査対象物20の欠陥を検査する光回折パターン検査装置であって、所定の入射角度で光を照射する光照射手段11a,11bと、光回折パターンが表示する画像を撮像する撮像手段12a〜12cと、撮像手段12a〜12cが撮像した画像を、基準画像と比較して、欠陥を検査する検査処理手段13とを備える。

請求項（抜粋）：

所定の入射角度で入射された光を反射し干渉させて画像を表示する光回折パターンを有する検査対象物の欠陥を検査する光回折パターン検査装置であって、所定の入射角度で光を照射する光照射手段と、前記光回折パターンが表示する画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像を、基準画像と比較して、欠陥を検査する検査処理手段とを備えることを特徴とする光回折パターン検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/892 ,  G01B 11/30 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/02

FI (5件)：

G01N 21/892 Z ,  G01B 11/30 A ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/02

Fターム (38件)：

2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065BB18 ,  2F065CC02 ,  2F065CC21 ,  2F065DD02 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065PP01 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR06 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02 ,  2G051AA32 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB06 ,  2G051DA06 ,  2H049AA51 ,  2H049CA28 ,  2K008AA00 ,  2K008EE01 ,  2K008EE04 ,  2K008GG05