特許
J-GLOBAL ID：200903006950998168
ハブブレード装着機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136366
公開番号（公開出願番号）：特開平9-314465
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：
【要約】【課題】 スピンドル軸に嵌め込んで取り付けられるハブブレードの偏芯による振動発生を防止すること。【解決手段】 ハブブレードが嵌め込み式で取り付けられる部位のスピンドル側に、エアー膜形成手段を設けて高圧エアーによるエアー膜を形成することで、ハブブレードの偏芯またはアンバランスを修正し、高速回転時に振動が生じないようにしたのである。
請求項（抜粋）：
ダイシング装置等に装備されているエアースピンドルの先端部にハブブレードを装着するためのハブブレード装着機構であって、エアースピンドルの先端にはハブブレードを受支するホイールマウントが形成され、該ホイールマウントはハブブレードの背部を支えるツバ部と、ハブブレードの環状内周部を支持する環状支持部とからなり、該環状支持部には、環状内周部との間にエアー膜を形成するためのエアー膜形成手段が設けられていることを特徴とするハブブレード装着機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 45/00 Z
, H01L 21/78 F
