特許
J-GLOBAL ID：200903006955309115
ウェーハ移載装置及びウェーハ移載方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-330514
公開番号（公開出願番号）：特開平9-172052
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハ搬送時にウェーハ表面に擦り傷がつき且つ発塵することを防止する。【解決手段】 第一のキャリア2Aに所定のピッチで直立収納された複数のウェーハ1を一括して第二のキャリア2Bに移載する装置において、キャリア2A, 2Bのウェーハ収納ピッチに等しいピッチでV字状若しくはY字状の案内溝を有するウェーハ傾斜抑制部材17を備えた昇降自在のウェーハ傾斜抑制部16を設ける。キャリア2Aに直立収納された複数のウェーハ1の上端部にこのウェーハ傾斜抑制部材17の案内溝を挿入した状態でウェーハ支持部材13をウェーハ1の下方から上昇してウェーハ1を支持し、上方に搬送する。
請求項（抜粋）：
第一のキャリアに所定のピッチで直立収納された複数のウェーハを該ピッチを変えることなく一括して第二のキャリアに移載する装置において、該第一および第二のキャリアのウェーハ収納ピッチに等しいピッチで案内溝を設けた支持部材を備え、該複数のウェーハを支持して上方および下方に搬送するウェーハ搬送部と、該ウェーハ搬送部が該第一のキャリアから上方に搬送した複数のウェーハを一時的に保持するウェーハ保持部と、該ウェーハ収納ピッチに等しいピッチで複数の案内溝を設けた傾斜抑制部材を備え、該ウェーハ搬送部が該ウェーハを搬送する間、該ウェーハの周端部を該案内溝内に拘束して該ウェーハの傾斜を抑制し続けるウェーハ傾斜抑制部と、を有することを特徴とするウェーハ移載装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 D
, B65G 57/24
