特許
J-GLOBAL ID：200903006965898488
圧電振動片の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-280909
公開番号（公開出願番号）：特開2004-120351
出願日： 2002年09月26日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【解決手段】厚み方向のエッチングレートが高い水晶ウエハ10の両主面に耐蝕膜11を形成し、音叉型水晶振動片1の外形及び検出振動腕4の外側に拡大した余白部分を含む予備形状にパターニングしてウエハ表面を露出させ、かつ耐蝕膜上に形成したフォトレジスト層13を振動片外形にパターニングして、余白部分に対応する耐蝕膜の部分を露出させる。ウエハ露出面を貫通エッチングして予備形状を形成した後、耐蝕膜の露出部分を除去してウエハ表面を露出させ、これをエッチングして、振動片側面にその厚み方向中央に突条14を残すように振動片外形を形成する。残存するフォトレジスト層及び耐蝕膜の除去後、振動片側面に形成した電極膜16をパターニングして突条先端に圧電材料の表面を露出させ、厚み方向に分離された検出用電極5a・5bを形成する。【効果】従来工程を利用して簡単かつ低コストで所望の電極を成膜できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
厚み方向により高いエッチングレートを有する圧電材料からなるウエハの両主面に耐蝕膜を形成する工程と、
振動片の外形及びその外側に拡大した余白部分を含む予備形状を前記耐蝕膜にパターニングして、前記ウエハの表面を露出させる工程と、
前記耐蝕膜の上にフォトレジスト層を形成して前記振動片外形をパターニングし、前記余白部分に対応する前記耐蝕膜の部分を露出させる工程と、
前記ウエハの露出面を貫通エッチングして、前記予備形状を形成する工程と、前記余白部分に対応する前記耐蝕膜の露出部分を除去して、前記ウエハの表面を露出させる工程と、
前記予備形状の側面にその厚み方向中央に突条を残すように前記ウエハの露出面をエッチングして、前記振動片外形を形成する工程と、
残存する前記フォトレジスト層及び前記耐蝕膜を除去した後、前記突条を含む前記振動片側面に電極膜を形成しかつパターニングして、前記突条の先端に前記圧電材料の表面を露出させる工程と、
残存する前記フォトレジスト層を除去する工程とを含むことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
IPC (7件)：
H03H3/02
, H01L41/08
, H01L41/18
, H01L41/22
, H02N2/00
, H03H9/19
, H03H9/215
H03H3/02 D
, H02N2/00 Z
, H03H9/19 K
, H03H9/215
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101A
, H01L41/08 Z
審査官引用 (6件)
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水晶振動子の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-171644
出願人：キンセキ株式会社
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振動子の製造方法及び電子機器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-070279
出願人：セイコーエプソン株式会社
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水晶振動子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-033430
出願人：株式会社明電舎
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