特許

J-GLOBAL ID：200903006970887672

石英ガラスの製造方法

発明者： 山田 修輔 ,  津久間 孝次 ,  秋山 智幸 ,  加茂 賢治
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-175950
公開番号（公開出願番号）：特開平5-345628
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】出発材料のシリカ微粒子堆積体の断面と比較して、線収縮率で5%以内の面を持つ石英ガラスを製造する方法を提供する。【構成】カサ密度が0.3から1.0g/cm3のシリカ微粒子堆積体を、ヘリウムガスまたは1Torr以下の真空下で、一軸加圧加熱装置により圧力1MPa以上かつ温度1100°C以上で処理する。

請求項（抜粋）：

火炎加水分解法により得たシリカ微粒子堆積体を焼結する石英ガラスの製造方法において、シリカ微粒子堆積体の焼結を、一軸加圧加熱装置により圧力1MPa以上かつ温度1100°C以上で処理し、出発シリカ微粒子堆積体の加圧軸に垂直な面方向の線収縮率を5%以下に抑制して透明ガラス化することを特徴とする方法。

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/02