特許

J-GLOBAL ID：200903006972540637

レプリカ回折格子

発明者： 東南 義貴 ,  長野 哲也
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-048172
公開番号（公開出願番号）：特開平7-261010
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 温度の影響を受けず安定した分光の行えるレプリカ回折格子を提供することを目的とする。【構成】 マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させてなるレプリカ回折格子において、前記レプリカ基板を石英ガラス、ゼロデュア(SCHOTT社製)などの低膨脹率の材質で構成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させてなるレプリカ回折格子において、前記レプリカ基板を低膨脹率の材質で構成したことを特徴とするレプリカ回折格子。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-293546
  
• 特開昭59-065810
  
• 特開昭63-293546
  
• 特開昭59-065810