超音波洗浄方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤辰彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230823
公開番号（公開出願番号）：特開平6-071239
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】ワーク表面を均一に洗浄できる超音波洗浄方法及びこの方法に好適で、低コストで作業環境を汚染しない超音波洗浄装置を提供する。【構成】超音波振動子2から洗浄液3中に超音波を放射し、洗浄液3中に前記超音波の波長の1/4以上の深さに浸漬されたワーク4を洗浄する。超音波洗浄槽1から導管8,9により洗浄液3を導入して脱気する貯液槽7を設ける。貯液槽7内で洗浄液3の液面の上限及び下限を検知する液面検知手段10a,10bを設ける。液面検知手段10bにより貯液槽7内の洗浄液3の液面の下限WL2bが検知されると貯液槽7内を減圧にして導管8から洗浄液3を導入し、液面の上限WL2aが検知されると貯液槽7内を加圧して洗浄液3を導管9から超音波洗浄槽1に供給する空気調圧手段を設ける。超音波洗浄槽1の洗浄液3の液面は、貯液槽7内の液面の変動に対応して前記超音波の波長の1/2以上の幅で上下動される。

請求項（抜粋）：

底部に超音波振動子が取着された超音波洗浄槽に供給された洗浄液中にワークを浸漬し、該超音波振動子から該洗浄液に超音波を放射して該ワークの表面を洗浄する超音波洗浄方法において、該洗浄液中に該ワークを該超音波振動子から放射される超音波の波長の1/4以上の深さに浸漬し、該洗浄液の液面を該超音波の波長の1/2以上の幅で上下動させながら該超音波振動子による超音波の放射を行うことを特徴とする超音波洗浄方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-187380
特開昭48-041553

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