基板周縁露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪熊克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-340551
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162833
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】ウエハの端面形状に関わらず、所望する露光形状が得られる基板周縁露光方法を提供する。【解決手段】感光剤が塗布された平面形状円形の基板の周縁部を、光照射系によって露光する基板周縁露光方法において、外形検出器によって周縁部の座標値を測定し、周縁部の座標値に基づいて基板の中心座標値を算出し、基板の中心座標値から半径方向に所定距離離れた露光領域を露光することを特徴とする基板周縁露光方法である。

請求項（抜粋）：

感光剤が塗布された平面形状円形の基板の周縁部を、光照射系によって露光する基板周縁露光方法において、外形検出器によって前記周縁部の座標値を測定し、周縁部の該座標値に基づいて前記基板の中心座標値を算出し、基板の該中心座標値から半径方向に所定距離離れた露光領域を露光することを特徴とする基板周縁露光方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 577 , G03F 7/20 521

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