特許

J-GLOBAL ID：200903006983153333

渦センサ

発明者： 塚田 晃 ,  渡辺 正行
出願人/特許権者： 株式会社オーバル
代理人 (1件)： 高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-164369
公開番号（公開出願番号）：特開平7-019919
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】【目的】 安価で、高温から極低温までの広い温度範囲の流体を長期安定して測走できるようにする。【構成】 フランジ9aで片持固定され、渦発生体内に挿入される振動管9に作用する交番変動圧力を、振動管9のセンサ孔9d内に燒嵌めされた感圧部17で検知する。感圧部17は、母材10の両面に圧電素子12,13を接合し側端面に絶縁接着剤をコーティングした圧力検出素子18をセンサ押え15で押え乍ら、センサ本体14の開口14a内に接着したもので、圧電素子12,13とセンサ本体14およびセンサ押え15の熱膨張係数を略等しくする。

請求項（抜粋）：

測定流体が流れる本体と、該本体内に両端が固着され一端側軸方向に圧力室と該圧力室に測定流体圧を導入する導圧孔を有する渦発生体と、前記圧力室内に導入されたカルマン渦に基づく変動圧力を検知する渦センサを有する渦流量計において、前記渦センサは、前記変動圧力に応動して前記圧力室内で振動可能に前記本体壁を貫通し本体に片持支持される振動管と、短柵状の金属平板で電極ピンを有する母材と、該母材の平板の両面に各々接合した圧電素子と、該圧電素子と熱膨張係数が略等しい金属柱体で、一体に接合された前記母材と圧電素子とを該圧電素子が受圧面となるように前記振動管内に軸対称に固着する該金属柱体の一方の側面に穿設された開口を有するセンサ本体と、前記母材と圧電素子とを固着した該センサ本体の開口部を封止する四角柱状金属のセンサ押えとからなり、前記センサ本体およびセンサ押えとを前記振動管内に燒嵌めにより一体固着したことを特徴とする渦センサ。