特許
J-GLOBAL ID：200903006997420350

ブラックマトリックス用色素、該色素を含むレジスト組成物、当該組成物を用いてブラックマトリックスを製造する方法、及び該方法により得られるブラックマトリックス

発明者：
日城 良樹

日城 良樹 について


出願人/特許権者：
住友化学工業株式会社

住友化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-055792
公開番号（公開出願番号）：特開平7-261015
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 充分な遮光効果が得られ、微細度及び耐熱性等の諸性能に優れ且つ充分な色濃度が得られるブラックマトリックス及びその製造方法を提供する。【構成】 水素原子が1個置換されたスルホンアミド基を有し且つアルカリ性現像液及び有機溶剤の双方に可溶なブラックマトリックス用色素の色の異なる2種以上、アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド化合物及び有機溶剤を含むブラックマトリックス用黒色或いは非黒色ポジ型レジスト組成物、さらに光酸発生剤、架橋剤及び有機溶剤を含む黒色或いは非黒色ネガ型レジスト組成物をリソグラフィーすることにより得られる黒色或いは非黒色皮膜を支持体上に設けたブラックマトリクス。
請求項（抜粋）：
水素原子が1個置換されたスルホンアミド基を有し、且つ、アルカリ性現像液及び有機溶剤の双方に可溶なブラックマトリックス用色素。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101 ,  C09B 69/00 ,  G03F 7/022
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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