特許

J-GLOBAL ID：200903006997736072

静電容量式加速度センサの特性調整方法

発明者： 久保田 正則 ,  仲沢 照美 ,  松倉 哲夫 ,  浅野 保弘
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266040
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120498
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】加速度に対する出力特性の直線性の大きさがばらついても、このばらつきを所定内に納め、センサの歩留りを向上させることを目的とする。【構成】加速度に対する出力特性の直線性の大きさがばらついても、ばらつきが小さいものは、直線性の補正を行わず、ばらつきが大きいものは、直線性の補正を行うようにした。【効果】最終的な直線性のばらつきを所定内に納めることができ、加速度センサの歩留りを向上させる効果がある。

請求項（抜粋）：

加速度に応答して位置が変位する可動電極、及びこの可動電極に対向して配置される一個以上の固定電極を有し、前記位置の変位を静電容量の変化としてとらえ、この静電容量の変化から加速度を検出する静電容量式加速度センサの特性調整方法において、所定の加速度に対する出力電圧特性の直線性の関係で、所定の加速度に対する出力電圧特性の直線性と、第一の直線性の所定値とを比較し、前記所定の加速度に対する出力電圧特性の直線性が、第一の直線性の所定値以下の時は、所定の加速度に対する出力電圧特性の直線性の補正を行わず、前記所定の加速度に対する出力電圧特性の直線性が、第一の直線性の所定値を越えたときは、所定の加速度に対する出力電圧特性の直線性の補正を行うようにしたことを特徴とする静電容量式加速度センサの特性調整方法。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  G01P 21/00