特許
J-GLOBAL ID：200903007001611542
研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-298977
公開番号（公開出願番号）：特開平6-143126
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【目的】 定盤(ターンテーブル)の微少湾曲等に追従することができ、かつ、キャリアプレートの上面全面を均等に押圧することができて、ウェーハの平面度と平滑度、とくに、平面度を向上させることができる研磨装置を提供することを目的とする。【構成】 エアシリンダ105によって押圧板119を上下調整しこの押圧板119によってキャリアプレートCを押圧すると共に、リング状ピストン122によって環状押圧部材116を昇降調整しこの環状押圧部材116によって上記キャリアプレートCの外周縁部を押圧することにより、上記キャリアプレートCがその全面にわたって均等に押圧される。
請求項（抜粋）：
下面に被研磨材が固定されたキャリアプレートをこのキャリアプレートの下方に設けられた定盤上に押圧した状態で上記被研磨材を研磨するように構成された研磨装置において、上記キャリアプレートの外周縁部を押圧する環状押圧部材が昇降自在に設けられ、かつこの環状押圧部材を昇降調整させる昇降調整機構が、上記環状押圧部材に設けられると共に、この環状押圧部材に近接して上記キャリアプレートを押圧する押圧板が上下移動自在に設けられる一方、この押圧板を上下調整させる上下調整機構が、上記押圧板に設けられたことを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
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