特許

J-GLOBAL ID：200903007002280515

表面検査のための方法及び装置

発明者： ヘイモ・ケラーネン ,  マルティ・カルピネン ,  ペッカ・ユントゥネン
出願人/特許権者： サーモ・レディオメトリー・オイ
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-001777
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242091
出願日： 2001年01月09日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 対象物106の表面を検査する方法及び該方法を実施する装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本方法は対象物と該対象物の表面を検査するための装置との間で移動させ、対象物の表面を光放射により放射することを含んでいる。前記放射は対象物の表面の異なる各撮像領域108,110に対してなされ、そのため各放射の少なくとも1つの特性が、別の撮像領域における特性と異なっている。異なる各放射で対象物の同一表面エリアからの画像情報を生成するために、画像が撮像領域から生成され、かつ異なる撮像領域から得られた同一表面エリアの画像情報が比較及び/又は結合されて、表面検査情報を生成する。

請求項（抜粋）：

対象物と該対象物の表面を検査するための装置との間に移動が存在し、前記対象物の前記表面が光放射により放射されてなる対象物(106)の表面を検査する方法において、各放射の少なくとも1つの特性が他の撮像領域における特性と異なるように、前記対象物の前記表面のそれぞれ異なる各撮像領域(108,110)へ放射し、異なる各放射で前記対象物の同一表面エリアの画像情報を生成するように、前記各撮像領域から画像を生成し、表面検査情報を生成するように、前記異なる各撮像領域の前記同一表面エリアの画像情報を比較及び/又は結合することを特徴とする方法。

IPC (6件)：

G01N 21/892 ,  G01B 11/06 101 ,  G01B 11/30 102 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/57 ,  G06T 1/00 300

FI (6件)：

G01N 21/892 B ,  G01B 11/06 101 H ,  G01B 11/30 102 Z ,  G01N 21/27 A ,  G01N 21/57 ,  G06T 1/00 300