特許

J-GLOBAL ID：200903007005676347

新規なポリマー及びそれを含有するフォトレジスト組成物

発明者： ジャック エイチ ジョルガー ジュニア
出願人/特許権者： シップレーカンパニー エル エル シー
代理人 (1件)： 佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-281009
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268519
出願日： 1997年09月08日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、新規ポリマー、並びに感光性成分を含みかつ該ポリマーを樹脂バインダー成分として使用するフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】本発明のポリマーは、概ね、高い炭素含有率を有しかつ好ましくは芳香族である部分を包含する少なくとも1個の繰返し単位を含む。本発明の好ましいポリマーは、拡張芳香環であるか、或いは2個以上の環を含み好ましくは少なくとも2個の環が縮合されかつ各環の中に約3員環から8員環を含む多環芳香環系である部分を包含する少なくとも1個の繰返し単位を含む。本発明のフォトレジストは、ポジ型組成物とネガ型組成物の双方を包含し、前記ポリマーから成る樹脂バインダー成分を含む。

請求項（抜粋）：

感光性成分、並びに、拡張芳香族基又は2個以上の環を含む多環芳香環系で、かつ各環が約3から8員環である繰返し単位を有する樹脂バインダーからなるフォトレジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 601 ,  C08F 12/22 ,  C09D125/18 ,  G03F 7/039 601

FI (4件)：

G03F 7/038 601 ,  C08F 12/22 ,  C09D125/18 ,  G03F 7/039 601