ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-099224
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288191
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】モータ7のロータ8及びポンプロータ5が同一回転軸4上に回転一体に設けられ、かつそのモータ7により回転駆動されるターボ分子ポンプAに対して、回転軸4等の回転系の曲げ共振周波数を高くしてポンプロータ5をより高速で回転させることができるようにし、ターボ分子ポンプAの真空性能を向上させる。【解決手段】モータ7にスイッチドリラクタンスモータ(Switched Reluctannce Motor:SRモータ)を使用してそのロータ7の全長を短くすることにより、回転軸4の全長を短くする。

請求項（抜粋）：

モータ(7)によって回転駆動されるポンプにおいて、上記モータ(7)は、スイッチドリラクタンスモータからなることを特徴とするポンプ。

IPC (4件)：

F04D 19/04 , H02K 7/09 , H02K 7/14 , H02K 19/10

FI (4件)：

F04D 19/04 H , H02K 7/09 , H02K 7/14 B , H02K 19/10 A

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