特許

J-GLOBAL ID：200903007013984352

露光装置

発明者： 中小路 佳史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289916
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129181
出願日： 1991年11月06日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】 露光装置のスループットを向上させる。【構成】 レチクルパターンをガラスプレートPTに転写するための露光処理部PEを外気からほぼ遮断して収納するメインチャンバーMCとは別に、露光処理部PEに搬入すべきガラスプレートPTを収納したプレートキャリアPC1をサブチャンバーSC内に収納する。チャンバーコントローラ100は、サブチャンバーSC内の環境条件、特に温度を制御し、プレートキャリアPC1 内のガラスプレートPTの温度を所定値に設定する。【効果】 露光処理部に搬送される前のガラスプレートPTの温度を最適温度、すなわちプレートステージPSの温度とほぼ等しく設定でき、露光処理部において直ちにガラスプレートに対する露光動作を開始することが可能となる。

請求項（抜粋）：

マスクに形成されたパターンを感光基板に転写するための露光処理部と、前記感光基板を保持可能な保持部材を少なくとも1つ有し、該保持部材に保持された感光基板を前記露光処理部に搬入するとともに、前記露光処理部で露光処理が施された感光基板を前記保持部材まで搬出する基板搬送部とを外気からほぼ遮断して収納する第1のチャンバーを備えた露光装置において、前記第1のチャンバーとは別に、少なくとも前記露光処理部に搬入すべき感光基板を保持した前記保持部材を外気からほぼ遮断して収納する第2のチャンバーと;該第2のチャンバー内に収納された前記保持部材の感光基板の周辺の環境条件を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 301 Z ,  H01L 21/30 301 H

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭60-079358
  
• 特開昭60-084819
  
• 特開平4-022118
  
• 特開平4-096314
  
• 特開平4-084410