特許

J-GLOBAL ID：200903007014949100

ネガ型感光性樹脂組成物

発明者： 高木 良博
出願人/特許権者： 富士フイルムアーチ株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-224069
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040659
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】アルカリ性水溶液で現像でき、高感度であり、しかも、絶縁性、平坦性、耐熱性、耐溶剤性等の諸特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物、更には、上記諸特性と同時に低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物及びその処理方法を提供すること。【解決手段】テトラフルオロエチレン、カルボキシル基を含有するモノマー及びこれらと共重合可能なモノマーを共重合させることにより得られるフッ素含有共重合体、メラミン架橋剤及び光酸発生剤を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。前記ネガ型感光性樹脂組成物を、塗布、露光、アルカリ現像後、超高圧マイクロジェットで水洗することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物の処理方法。

請求項（抜粋）：

テトラフルオロエチレン、カルボキシル基を含有するモノマー及びこれらと共重合可能なモノマーを共重合させることにより得られるフッ素含有共重合体、メラミン架橋剤及び光酸発生剤を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 601 ,  C08F214/26 ,  C08F220/00 ,  C08J 7/00 CER ,  C08K 5/3477 ,  C08L 27/18 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 7/038 601 ,  C08F214/26 ,  C08F220/00 ,  C08J 7/00 CER Z ,  C08K 5/3477 ,  C08L 27/18 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 569 F

Fターム (67件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA14 ,  2H025FA17 ,  2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA01 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096GA17 ,  4F073AA25 ,  4F073BA06 ,  4F073BA16 ,  4F073BA18 ,  4F073BA19 ,  4F073BB01 ,  4F073BB09 ,  4F073EA11 ,  4F073HA02 ,  4J002AA041 ,  4J002AA061 ,  4J002BD151 ,  4J002EU186 ,  4J002FD146 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J100AA01R ,  4J100AB02R ,  4J100AC26P ,  4J100AE02R ,  4J100AE03R ,  4J100AE04R ,  4J100AE09R ,  4J100AG02R ,  4J100AG04R ,  4J100AG63Q ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ08Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AL10R ,  4J100AL36Q ,  4J100AM02R ,  4J100AM15R ,  4J100BC22R ,  4J100BC27R ,  4J100BC43R ,  4J100CA05 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38 ,  5F046LA14