特許

J-GLOBAL ID：200903007019117421

赤外線ガス検出器用フローセンサおよびフローセンサの製造方法

発明者： 富永 浩二 ,  青木 潤次 ,  松浦 良視 ,  生田 卓司 ,  山貫 幹人 ,  岡本 一隆
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-272654
公開番号（公開出願番号）：特開2002-081982
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】 赤外線ガス分析計における検出器のセンサ部に用いられ、一度に大量生産できる工程で精度良く生産可能で、ばらつきの少ない安定した測定を可能とする赤外線ガス検出器用フローセンサおよびフローセンサの製造方法を提供する。【解決手段】 赤外線ガス分析計の検出器用のフローセンサ1であって、それぞれシリコン基板2上にパターン成形されたヒータ4aと、このヒータ4aが位置する部分のシリコン基板2を異方性エッチングによって取り除いて形成した貫通孔5とを有する2枚の金属薄膜ヒータ基板3を互いの貫通孔5が連通するように重ねてなり、各金属薄膜ヒータ基板3の貫通孔5を通って流れる気体の流量を測定可能とした。

請求項（抜粋）：

赤外線ガス分析計の検出器用のフローセンサであって、それぞれシリコン基板上にパターン成形されたヒータと、このヒータが位置する部分のシリコン基板を異方性エッチングによって取り除いて形成した貫通孔とを有する2枚の金属薄膜ヒータ基板を互いの貫通孔が連通するように重ねてなり、各金属薄膜ヒータ基板の貫通孔を通って流れる気体の流量を測定可能としたことを特徴とする赤外線ガス検出器用フローセンサ。

IPC (3件)：

G01F 1/692 ,  G01N 21/37 ,  G01N 21/61

FI (4件)：

G01N 21/37 ,  G01N 21/61 ,  G01F 1/68 104 A ,  G01F 1/68 104 C

Fターム (8件)：

2F035EA04 ,  2F035EA08 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059EE01 ,  2G059EE17 ,  2G059HH01 ,  2G059KK09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 赤外線ガス分析計用流量検出素子とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-181172   出願人：株式会社堀場製作所
• フローセンサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-203996   出願人：リコー精器株式会社
• 特開昭59-005919