特許

J-GLOBAL ID：200903007023479923

微小変位素子及びこれを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置

発明者： 山本 敬介 ,  笠貫 有二 ,  鈴木 義勇 ,  八木 隆行 ,  中山 優 ,  平井 裕
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-151255
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347439
出願日： 1992年05月20日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【構成】 弾性体薄膜と、一対の電極に挟持された単層の圧電体薄膜からなるユニモルフ構造を有するカンチレバーであって、該カンチレバーの一端が支持体に支持され、且つその他端に情報入出力用のプローブを備え、該弾性体薄膜と圧電体薄膜をそれぞれの線熱膨張係数A及びBが(A-B)/A×100≦50%である材料で形成したことを特徴とする微小変位素子。【効果】 高スキャン時にカンチレバーに生ずる寄生振動が各段に低減され、精度及び再現性の良好な像観察、或いは画像の記録・再生を可能とし、高速動作に適した情報処理装置を実現できる。

請求項（抜粋）：

圧電体薄膜、これを挟持する一対の電極及び弾性体薄膜を有するユニモルフカンチレバーであって、該カンチレバーの一端が支持体に支持され、且つその他端に情報入出力用のプローブを備えたことを特徴とする微小変位素子。

IPC (4件)：

H01L 41/09 ,  G11B 9/00 ,  H01L 41/18 ,  H02N 2/00

FI (2件)：

H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 Z