研磨盤自動交換装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅隆彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-084447
公開番号（公開出願番号）：特開平7-290358
出願日： 1994年04月22日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：

【要約】【目的】駆動部を自動化に適した機構とし、研磨盤ユニットと受盤とを爪相互の係合で止着保持することにより研磨盤の交換を簡易にした研磨盤自動交換装置を提供する。【構成】回転駆動軸12先端の受盤27に着脱自在に保持された研磨盤33を研磨位置Xと交換位置Yに亙って往復移動する研磨盤移動機構Aと、使用済み研磨盤33′′と新しい研磨盤33′とを収容・取出し自在な1対のストックコンテナ11,10を交換位置Y対応の所定位置を待機位置に亙って往復移動するコンテナ移動機構Bと、交換位置Yと当該所定位置にそれぞれ位置決め停止する使用済み研磨盤33′′と新しい研磨盤33′を差し換え交換してそれぞれ収容と保持を入れ換える研磨盤交換機構Cを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

回転駆動軸先端に固着された係合保持手段に着脱自在に保持された研磨盤を研磨位置と交換位置に亙って往復移動する研磨盤移動機構と、使用済み研磨盤と新たな研磨盤とを収容・取出し自在な1対のストックコンテナを前記交換位置対応の所定位置と待機位置に亙って往復移動するコンテナ移動機構と、前記研磨盤移動機構と当該コンテナ移動機構に亙って対面し同時吸着した前記交換位置に位置決め停止する使用済み研磨盤と前記所定位置に位置決め停止する新たな研磨盤とを差し換え交換してそれぞれ収容と保持を入れ換える研磨盤交換機構と、を備えたことを特徴とする研磨盤自動交換装置。

IPC (3件)：

B24B 45/00 , B24B 47/12 , B24D 7/16

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭60-167736
特開平4-101764
特開昭60-167736

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