特許
J-GLOBAL ID：200903007041984740
スピン偏極走査型顕微鏡及びその測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-228589
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073604
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】微動ステージで試料を走査した場合に試料面の凹凸によらず磁化の程度を検知する。【解決手段】光照射装置と探針20との間の光路中にシャッタが配置され、コントローラは、(1)シャッタを開にし円偏光を右円偏光と左円偏光とに交互に切換え、この円偏光を探針20に照射させた状態で、微動ステージを駆動して探針20を相対的に試料10上で1ライン往方向へ走査させ、(2)シャッタを閉にした状態で、微動ステージを駆動して探針20を相対的に同一ライン上を復方向へ走査させ、(1)及び(2)での走査中に試料上の各検出位置について、探針と試料との間に流れるトンネル電流が設定値になるように微動ステージの試料面法線方向駆動量を調節したときの該駆動量を検出し、右円偏光のときに(1)で得た該駆動量と左円偏光のときに(1)で得た該駆動量との差を、磁化状態量として算出する。シャッタを備えずに(2)で直線偏光又は無偏光を探針に照射させてもよい。
請求項（抜粋）：
円偏光の入射により励起されたスピン偏極電子が内部で生成される半導体で形成され、試料に接近して対向配置された探針と、該探針と該試料との間に電圧を印加し、該探針と該試料との間に流れる電流を検出する電流検出回路と、該探針に円偏光の出力光を照射させる円偏光照射装置と、該試料に対し該探針を相対的に微動させる微動ステージと、を有するスピン偏極走査型顕微鏡において、該円偏光照射装置と該探針との間の光路中に配置され、該円偏光を通過させ又は遮光するシャッタと、制御手段と、磁化状態検知手段と、を有し、該制御手段は、(1)該シャッタを閉にした状態で、該微動ステージを駆動して該探針を相対的に試料上で1ライン走査させ、(2)該シャッタを開にし該円偏光を該探針に照射させた状態で、該微動ステージを駆動して該探針を相対的に該1ラインと同一ライン上で走査させ、該磁化状態検知手段は、該(1)及び(2)での走査中に、該微動ステージの試料面法線方向駆動量を調節し、実質的に該駆動量又は該電流を検出値として読み取り、同一走査点での検出値に基づいて磁化状態量を算出する、ことを特徴とするスピン偏極走査型顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01R 33/12
G01N 37/00 B
, G01B 7/34 Z
, G01R 33/12 Z
