特許

J-GLOBAL ID：200903007047679133

改良された温度感知および監視を含む短時間アニールシステムおよびその方法

発明者： ドーソン,ロバート ,  ホーズ,フレデリック・エヌ ,  メイ,チャールズ・イー
出願人/特許権者： アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-508767
公開番号（公開出願番号）：特表2000-516038
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】RTAシステム内の半導体ウェハの温度を感知するために、半導体ウェハの裏の特徴(backside characteristics)をキャンセルするためのモノクロメータに関連して広帯域高温計が用いられる。短時間アニール(RTA)システムは短時間アニール(RTA)チャンバと、RTAチャンバの内部を加熱するためにRTAチャンバに近接して配置された加熱ランプと、RTAチャンバに近接して配置され、RTAチャンバの内部を測定するような方向を向いた広帯域高温計と、広帯域高温計に結合された格子モノクロメータとを含む。

請求項（抜粋）：

短時間アニール(RTA)チャンバと、 RTAチャンバに近接して配置され、RTAチャンバの内部を加熱するための加熱ランプと、 RTAチャンバに近接して配置され、RTAチャンバの内部を測定するような方向を向いた広帯域高温計と、 広帯域高温計に結合された格子モノクロメータとを含む、 短時間アニール(RTA)システム。

IPC (2件)：

H01L 21/26 ,  G01J 5/02

FI (2件)：

H01L 21/26 T ,  G01J 5/02 K