特許

J-GLOBAL ID：200903007050337367

排気装置及び排気方法

発明者： 江花 章仁
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  株式会社富士通東北エレクトロニクス
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-010579
公開番号（公開出願番号）：特開平7-217537
出願日： 1994年02月01日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：

【要約】【目的】 排気装置の改善に関し、被真空容器内の単位時間当たりの圧力変化を小さく抑え、単位時間内に最も効率良く真空引きし、塵埃の舞い上がりを極力阻止する。【構成】 被真空容器16とポンプ手段12との間に設けられ、及び、該被真空容器16からの排気流量を調整する第1の調整手段11と、被真空容器16を真空引きをして所定真空度を保持するポンプ手段12と、このポンプ手段12に圧力調整用のダミーガスGを供給するガス供給手段13と、ガス供給手段13とポンプ手段12との間に設けられ、及び、ダミーガスGの注入流量を調整する第2の調整手段14とを備える。第1の調整手段11は、被真空容器16とポンプ手段12とを接続又は遮断する開閉バルブ11A及び、被真空容器16からの排気流量を調整する流量バルブ11Bを有する。

請求項（抜粋）：

被真空容器(16)とポンプ手段(12)との間に設けられ、及び、該被真空容器(16)からの排気流量を調整する第1の調整手段(11)と、前記被真空容器(16)を真空引きをして所定真空度を保持するポンプ手段(12)と、前記ポンプ手段(12)に圧力調整用のダミーガス(G)を供給するガス供給手段(13)と、前記ガス供給手段(13)とポンプ手段(12)との間に設けられ、及び、前記ダミーガス(G)の注入流量を調整する第2の調整手段(14)とを備えることを特徴とする排気装置。

IPC (3件)：

F04B 37/16 ,  F04C 25/02 ,  F04C 29/08