焼成治具及びセラミック基板の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-324682
公開番号（公開出願番号）：特開平9-165266
出願日： 1995年12月13日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】反りやうねりのないセラミック基板を歩留り良く製造することができず、セラミック基板と接着したり、ガラス成分がグリーンシートに拡散する他、押板を支える焼成治具の高さ設定が困難かつ煩雑である。【解決手段】支柱2の上下面に多孔質のセラミック成形体3を配した3層構造を成す焼成治具1を、台板5上に載置したセラミックグリーンシート4の周囲に複数個配置するとともに、セラミックグリーンシートとの間隙が100μm以上となるように高さを調整し、焼成治具1に押板6を載置し、焼成時に支柱2の溶融物を多孔質のセラミック成形体3に吸収させて焼成治具1を収縮させ、押板6がセラミックグリーンシート4に接触するようにする。

請求項（抜粋）：

積層したセラミックグリーンシートを焼成する際に用いる治具であって、焼成保持温度で溶融もしくは溶融物を析出する組成物から成る支柱の上下面に、該支柱の高さの0.5倍以上で、空隙率が20〜70%である多孔質のセラミック成形体をそれぞれ配設したことを特徴とする焼成治具。

IPC (3件)：

C04B 35/64 , F27D 3/12 , H05K 1/03 610

FI (3件)：

C04B 35/64 J , F27D 3/12 S , H05K 1/03 610 D

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