特許
J-GLOBAL ID:200903007055671141

自動保管棚装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-154873
公開番号(公開出願番号):特開平5-338738
出願日: 1992年06月15日
公開日(公表日): 1993年12月21日
要約:
【要約】【目的】移載機によるワークの棚目から工程間搬入搬出口への搬出、工程内出庫口への出庫の際、ワークを移載するときの余分な時間の発生を防ぐ。【構成】工程間搬入出口6から搬入されたワークを移載機により工程内出庫口7に対し最短距離に位置する空棚目に格納して、工程内入庫口8から入庫されたワークを移載機により工程間搬入搬出口6に対し最短距離に位置する空棚目に格納する制御を有する。
請求項(抜粋):
半導体基板を収納したキャリアボックスを半導体製造工程間で搬送する、リニア誘導モータ式地上1次制御方式の空中有軌道搬送台車のワーク積み降ろしを行う移載機を含み、ワークの保管・管理を行う自動保管棚装置において、工程間搬入搬出口と、工程内入庫口と、工程内出庫口と、回転型方向転換機と、保管棚とを有し、前記工程間搬入搬出口から搬入された前記ワークを前記移載機により前記工程内出庫口から最短距離に位置する空棚目に格納して、工程内入庫口から入庫されたワークを移載機により工程間搬入出口から最短距離に位置する空棚目に格納する制御を行うことを特徴とする自動保管棚装置。
IPC (2件):
B65G 1/137 ,  H01L 21/68

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