特許
J-GLOBAL ID：200903007059389955
流速センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066380
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257821
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 高流速でも破壊されずに流速測定を継続する。【解決手段】 ヒータ4は、外部からの駆動電流により測定対象流体を断続的に加熱し、これと並行してサーモパイル5は、測定対象流体の流れによる熱伝導に起因する測定対象流体の温度変化を検出し、出力される温度検出信号による測定対象流体の温度変化はヒータ4の加熱状態に対応するものとなるので、熱伝播時間を測定することにより測定対象流体の流速を容易に求められる。また、温度センサとしてサーモパイル5を用いているので、特別な回路を設けずに温度センサの出力電圧を大きくすることができ、測温抵抗等を用いた流速センサと比較して、高感度化及び周辺回路の簡素化が可能となる。また、ヒータ4及びサーモパイル5は、ほぼ平面状に形成されているので、流速センサには開口部が少なく、高流速(90m/sec以上)でも破壊しない。
請求項（抜粋）：
測定対象流体の流速を熱伝播時間を計測することにより検出する流速センサにおいて、外部からの駆動電流により前記測定対象流体を断続的に加熱するヒータと、前記ヒータに対し前記測定対象流体の下流側に配置され、前記測定対象流体の温度を検出し、温度検出信号を出力するサーモパイルと、前記ヒータ及び前記サーモパイルを支持する支持基板と、を備えたことを特徴とする流速センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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特開平4-208814
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特開平4-230808
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特開平4-115125
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