レジストの現像装置および現像方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230159
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077124
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】高精度のレジストの現像技術に関し、新規なレジストの現像技術を提供することを目的とする。【構成】それぞれが温度調節機を備えた複数の現像液容器と、前記複数の現像液容器に接続された混合器と、前記混合器と前記現像液容器の各々との間に接続された流量制御バルブと、前記混合器の現像液の温度を検出するための温度検出器と、前記温度検出器が検出した温度に基づいて前記流量制御バルブを制御する制御系とを有する。

請求項（抜粋）：

それぞれが温度調節機を備えた複数の現像液容器(1、2)と、前記複数の現像液容器に接続された混合器(4)と、前記混合器と前記現像液容器の各々との間に接続された流量制御バルブ(3)と、前記混合器の現像液の温度を検出するための温度検出器(17)と、前記温度検出器が検出した温度に基づいて前記流量制御バルブを制御する制御系(18)とを有するレジスト現像装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/00 , G03F 7/30

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-130505
特開平4-310956
レジストパタ-ンの形状改善方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-359788 出願人：ソニー株式会社

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